SYSC-100型勻膠機(jī)（Spin Coater）、旋涂?jī)x 旋轉(zhuǎn)涂膜儀，是新一代旋轉(zhuǎn)涂膜設(shè)備，具有速度精度高，主動(dòng)式速度調(diào)控、勻膠過(guò)程多段程序控制等特點(diǎn)。主要用于微電子、半導(dǎo)體、制版、新能源、生物材料、光學(xué)器件等領(lǐng)域的表面涂膜工藝，例如各類納米薄膜材料、光阻涂覆、生物功能涂層的制備。

 產(chǎn)品特點(diǎn)

1.        機(jī)身外殼采用SUS304不銹鋼制作，防腐蝕、不生銹、易清潔。

2.        真空室采用316L耐腐蝕不銹鋼制作，防止長(zhǎng)期使用過(guò)程中膠液的侵蝕。

3.        接膠盤為PP材料經(jīng)精加工制作而成，接儲(chǔ)脫離基片的膠液，避免進(jìn)入設(shè)備內(nèi)部。耐腐蝕、可拆卸、易清洗。

4.        旋轉(zhuǎn)臺(tái)采用鋁材制作，表面經(jīng)過(guò)硬質(zhì)氧化處理，耐摩擦同時(shí)避免劃傷基片底部。防止膠液的腐蝕。

5.        勻膠過(guò)程全自動(dòng)分段程序控制。整個(gè)勻膠過(guò)程*多可分十段進(jìn)行，每段的加速時(shí)間、旋轉(zhuǎn)速度、勻膠時(shí)間均可精密控制、連續(xù)可調(diào)。

6.        4.3英寸液晶觸摸屏使控制更方便；運(yùn)行狀態(tài)及各項(xiàng)參數(shù)實(shí)時(shí)顯示，更直觀了解勻膠進(jìn)程；

7.        旋轉(zhuǎn)前增加預(yù)吸片步驟，“預(yù)吸片時(shí)間”*多為99s，確?；喂涛接谛D(zhuǎn)臺(tái)后再進(jìn)行旋轉(zhuǎn)涂膜。勻膠完成后增加解吸片步驟，“解吸片時(shí)間”*多為99s，確保**停止后再切斷真空，釋放基片，防止涂膜后的基片滑落，對(duì)膜層造成損傷。

8.        采用精密穩(wěn)定的直流電機(jī)及驅(qū)動(dòng)器，旋轉(zhuǎn)速度采用主動(dòng)控制方式，區(qū)別于老舊的被動(dòng)測(cè)速控制方式，從而使旋轉(zhuǎn)速度更**。

9.        標(biāo)配無(wú)油真空泵，低噪音。大吸力將基片緊緊吸附于旋轉(zhuǎn)臺(tái)，防止飛片。