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公司新聞

旋涂儀操作說明的詳細介紹
旋涂儀的操作說明
 1.開機前準備  
    (1) 用丙酮與無塵紙清理之前光阻圖布的殘余物.  
    (2) a. 選擇適合尺寸大小的吸盤(1/2",1",2",3",4",5",6",7",8").
         b. 將吸盤裝上(將吸盤缺口處對準軸心之插梢位置).  
         c. 將樣品放在吸盤上(啟動前請確定樣品放在吸盤正中央的位置).  ※ 不可放入破片只能放4吋晶圓,以防光阻倒流入真空吸槽.

 2.開機&設(shè)定  
    (1) a. 將"POWER"開關(guān)打開.  
         b. 將"CONTROL"按鈕壓下(若沒有壓下則機臺將無法操作).  
    (2) 設(shè)定涂布的時間及轉(zhuǎn)速 :   Step I Timer I : 2~18 Sec Speed I : 500~2500R.P.M.  Step II Timer II : 3~60 Sec Speed II : 1000~8000R.P.M.  
    (3) 打開真空幫浦開關(guān),并將"VACUUM"按鈕壓下此時開始抽真空吸附樣品. 啟動"START"前,請確認涂布的時間及轉(zhuǎn)速是否已設(shè)定完成.  
    (4) 將光阻劑滴在樣品中心的位置.并將上蓋蓋上,防止意外發(fā)生.  
    (5) 壓下"START"按鈕,此時機臺開始依步驟(4)的設(shè)定條件依Step I,Step II 的 順序開始涂布樣品.  
    (6) 待時間完畢后,機臺隨即停止運轉(zhuǎn),完成涂布的動作.

 3.關(guān)機  
    (1) 將"VACUUM"關(guān)閉,并將真空幫浦關(guān)閉,取下完成樣品.
    (2) 將"CONTROL"按鈕及"POWER"開關(guān)關(guān)閉.  PS. 此機臺有預(yù)留廢液回收口,可將多余廢液排出.  
    (3) 用丙酮清理圖布后的光阻痕跡.

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