8英寸高精度程控勻膠機(jī) 旋涂?jī)x SYSC-200系列 Spin Coater
一. 產(chǎn)品應(yīng)用
8英寸高精度程控勻膠機(jī)（Spin Coater），其*高轉(zhuǎn)速可達(dá)12000rpm，*大旋轉(zhuǎn)加速度可達(dá)60000rpm/s（有負(fù)載條件下的真實(shí)加速度）。具有速度精度高、轉(zhuǎn)速穩(wěn)定、極好的加速度、主動(dòng)式速度調(diào)控、勻膠過(guò)程多段程序控制等特點(diǎn)?？捎糜谖㈦娮?、半導(dǎo)體、光電器件、新能源、生物材料、光學(xué)器件等領(lǐng)域的各類高精密納米功能涂層的制備。
二. 8英寸高精度程控勻膠機(jī)產(chǎn)品特點(diǎn)
1. 旋轉(zhuǎn)電機(jī)采用專為勻膠機(jī)設(shè)計(jì)的精密高速伺服電機(jī)，具有高精度、高穩(wěn)定性、高可靠性。
2. 優(yōu)異的旋轉(zhuǎn)加速性能，*大旋轉(zhuǎn)加速度可達(dá)60000rpm/s（有負(fù)載的真實(shí)加速度）。
3. 兩項(xiàng)**互鎖功能：
(1) 勻膠腔體具有開(kāi)啟、關(guān)閉的檢測(cè)功能，確保腔體關(guān)閉后才可啟動(dòng)，防止勻膠過(guò)程中飛片造成 人身傷害；
(2) 真空吸片具有真空檢測(cè)功能，若發(fā)生真空泄漏，基片無(wú)法吸附牢固，則立即停止運(yùn)行。
4. 機(jī)身外殼采用SUS304不銹鋼制作，防腐蝕、不生銹、易清潔。
5. 勻膠腔體采用德國(guó)勞士領(lǐng)NPP材料，經(jīng)CNC一體加工成型。接儲(chǔ)脫離基片的膠液，避免進(jìn)入真空管路和設(shè)備內(nèi)部。耐腐蝕、易清潔。
6. 旋轉(zhuǎn)吸片臺(tái)采用德國(guó)勞士領(lǐng)PEEK材料，經(jīng)CNC一體加工成型。耐高溫、耐腐蝕、不變形。
7. 勻膠過(guò)程全自動(dòng)分段程序控制。整個(gè)勻膠過(guò)程*多可分十段進(jìn)行，每段的加速時(shí)間、旋轉(zhuǎn)速度、勻膠時(shí)間均可精密控制、連續(xù)可調(diào)?？蓛?chǔ)存50組工藝程序，隨時(shí)調(diào)用。
8. 7英寸液晶觸摸屏使控制更方便；運(yùn)行狀態(tài)及各項(xiàng)參數(shù)實(shí)時(shí)顯示，更直觀了解勻膠進(jìn)程；
9. 真空泵的開(kāi)啟與關(guān)閉均為自動(dòng)程序控制，無(wú)需手動(dòng)操作。
10. 旋轉(zhuǎn)前增加預(yù)吸片步驟，“預(yù)吸片時(shí)間”*多為99s，確保基片牢固吸附于旋轉(zhuǎn)臺(tái)后再進(jìn)行旋轉(zhuǎn)涂膜。勻膠完成后增加解吸片步驟，“解吸片時(shí)間”*多為99s，確保**停止后再切斷真空，釋放基片，防止涂膜后的基片滑落，對(duì)膜層造成損傷。
11. 標(biāo)配無(wú)油真空泵，低噪音。大吸力將基片緊緊吸附于旋轉(zhuǎn)臺(tái)，防止飛片。
三. 8英寸高精度程控勻膠機(jī)技術(shù)參數(shù)
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設(shè)備型號(hào)
技術(shù)參數(shù)
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SYSC-200A
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SYSC-200B
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SYSC-200C
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可鍍膜基片尺寸
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?10～200mm
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?10～200mm
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?10～200mm
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旋轉(zhuǎn)速度
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10～8000rpm
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10～10000rpm
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10～12000rpm
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轉(zhuǎn)速分辨率
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1rpm
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1rpm
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1rpm
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速度精度性
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＜0.02%
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＜0.02%
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＜0.02%
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旋涂加速度*
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0～40000rpm/s
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0～50000rpm/s
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0～60000rpm/s
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每段加速時(shí)間
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999.9s
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999.9s
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999.9s
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每段旋涂時(shí)間
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9999.9s
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9999.9s
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9999.9s
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時(shí)間分辨率
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0.1s
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0.1s
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0.1s
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預(yù)吸片時(shí)間
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99s
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99s
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99s
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解吸片時(shí)間
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99s
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99s
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99s
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* *大旋涂加速度為有負(fù)載條件下(使用≤?100mm基片)的真實(shí)加速度
