【6英寸】高精度旋涂儀 Spin Coater
一. 產(chǎn)品應用
6英寸高精度旋涂儀（Spin Coater），其轉(zhuǎn)速高達12000rpm，旋轉(zhuǎn)加速度可達60000rpm/s（有負載條件下的真實加速度）。具有速度精度高、轉(zhuǎn)速穩(wěn)定、極好的加速度、主動式速度調(diào)控、勻膠過程多段程序控制等特點?？捎糜谖㈦娮?、半導體、光電器件、新能源、生物材料、光學器件等領(lǐng)域的各類高精密納米功能涂層的制備。
二. 6英寸高精度旋涂儀產(chǎn)品特點
1. 旋轉(zhuǎn)電機采用專為勻膠機設計的精密高速伺服電機，具有高精度、高穩(wěn)定性、高可靠性。
2. 優(yōu)異的旋轉(zhuǎn)加速性能，旋轉(zhuǎn)加速度可達60000rpm/s（有負載的真實加速度）。
3. 兩項互鎖功能：
(1) 勻膠腔體具有開啟、關(guān)閉的檢測功能，確保腔體關(guān)閉后才可啟動，防止勻膠過程中飛片造成身體受傷；
(2) 真空吸片具有真空檢測功能，若發(fā)生真空泄漏，基片無法吸附牢固，則立即停止運行。
4. 機身外殼采用SUS304不銹鋼制作，防腐蝕、不生銹、易清潔。
5. 勻膠腔體采用德國勞士領(lǐng)NPP材料，經(jīng)CNC一體加工成型。接儲脫離基片的膠液，避免進入真空管路和設備內(nèi)部。耐腐蝕、易清潔。
6. 旋轉(zhuǎn)吸片臺采用德國勞士領(lǐng)PEEK材料，經(jīng)CNC一體加工成型。耐高溫、耐腐蝕、不變形。
7. 勻膠過程全自動分段程序控制。整個勻膠過程多可分十段進行，每段的加速時間、旋轉(zhuǎn)速度、勻膠時間均可精密控制、連續(xù)可調(diào)?？蓛Υ?/span>50組工藝程序，隨時調(diào)用。
8. 7英寸液晶觸摸屏使控制更方便；運行狀態(tài)及各項參數(shù)實時顯示，更直觀了解勻膠進程；
9. 真空泵的開啟與關(guān)閉均為自動程序控制，無需手動操作。
10. 旋轉(zhuǎn)前增加預吸片步驟，“預吸片時間”為99s，確?；喂涛接谛D(zhuǎn)臺后再進行旋轉(zhuǎn)涂膜。勻膠完成后增加解吸片步驟，“解吸片時間”為99s，確保停止后再切斷真空，釋放基片，防止涂膜后的基片滑落，對膜層造成損傷。
11. 標配無油真空泵，低噪音。大吸力將基片緊緊吸附于旋轉(zhuǎn)臺，防止飛片。
三. 6英寸高精度旋涂儀技術(shù)參數(shù)
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設備型號
技術(shù)參數(shù)
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SYSC-150A
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SYSC-150B
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SYSC-150C
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可鍍膜基片尺寸
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?10～150mm
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?10～150mm
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?10～150mm
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旋轉(zhuǎn)速度
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10～8000rpm
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10～10000rpm
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10～12000rpm
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轉(zhuǎn)速分辨率
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1rpm
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1rpm
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1rpm
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速度精度性
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＜0.02%
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＜0.02%
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＜0.02%
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旋涂加速度*
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0～30000rpm/s
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0～30000rpm/s
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0～30000rpm/s
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每段加速時間
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999.9s
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999.9s
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999.9s
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每段旋涂時間
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9999.9s
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9999.9s
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9999.9s
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時間分辨率
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0.1s
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0.1s
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0.1s
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預吸片時間
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99s
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99s
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99s
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解吸片時間
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99s
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99s
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99s
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* 較大旋涂加速度為有負載條件下(使用≤?80mm基片)的真實加速度
